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●可測(cè)量稀薄溶液~濃厚溶液的ZETA電位和粒徑，并可進(jìn)行分子量測(cè)量的檢測(cè)裝置。 ●適用于粒徑測(cè)量范圍（0.6nm~10um）,濃度范圍（0.00001%~40%）。
利用顯微微分光膜厚計(jì)OPTM series的高精度、微小光點(diǎn)，在線提供制作晶片圖案后的微小區(qū)域測(cè)量等膜厚信息。
●Φ支持到300mmEFM單元備用端口的集成 ●實(shí)現(xiàn)嵌入在晶片中的布線圖案的圖案對(duì)齊 ●支持半導(dǎo)體工藝的高吞吐量要求 ●支持槽口對(duì)齊功能 ●小尺寸規(guī)格 ●高精度自動(dòng)校準(zhǔn)單元
ZETA電位 · 粒徑 · 分子量測(cè)試系統(tǒng)可測(cè)量濃度低的溶液～濃度高的溶液的ZETA電位?粒徑及分子量。
QE-2000熒光量子效率測(cè)試系統(tǒng)瞬間測(cè)量絕.對(duì)量子效率。適用于粉末、溶液、固體（膜）、薄膜樣品的測(cè)量。通過(guò)低雜散光多通道分光檢出器，大大減少了紫外區(qū)域 的雜散光。
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