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產(chǎn)品中心光譜系統(tǒng)顯微缺陷膜厚OPTM series 嵌入型
產(chǎn)品簡介
利用顯微微分光膜厚計(jì)OPTM series的高精度、微小光點(diǎn)，在線提供制作晶片圖案后的微小區(qū)域測量等膜厚信息。
產(chǎn)品分類
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●膜厚測量范圍1nm～92μm（換算為SiO2）
●膜厚值高重復(fù)精度
●1點(diǎn)1秒以內(nèi)的高速測量
●最小小點(diǎn)Φ3μm）中瞄準(zhǔn)模式
●最zui適shi合圖案晶片的膜厚映射
●能夠取得圖案對準(zhǔn)用圖像
CMP工藝
蝕刻工藝
成膜工藝等
上海波銘科學(xué)儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統(tǒng)、晶萃光學(xué)機(jī)械和光學(xué)平臺、激光器、Edmund 光學(xué)元件、Newport 產(chǎn)品、濱松光電探測器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學(xué)測試系統(tǒng)、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級相機(jī)、Semilab 半導(dǎo)體測試設(shè)備及高低溫探針臺系統(tǒng)。經(jīng)過多年的發(fā)展，上海波銘科學(xué)儀器有限公司在市場上已取得了一定的地位。我們的產(chǎn)品和服務(wù)在行業(yè)內(nèi)具有較高的知zhi名度和美譽(yù)度，客戶遍布全國。我們將繼續(xù)努力，不斷提升市場地位和影響力。
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