顯微分光膜厚儀利用光學(xué)干涉儀和自有的高精度分光光度計(jì)，實(shí)現(xiàn)非接觸、無損、高速、高精度的薄膜厚度測量。光學(xué)干涉測量法是一種使用分光光度計(jì)的光學(xué)系統(tǒng)獲得的反射率來確定光學(xué)膜厚的方法。以涂在金屬基板上的薄膜為例，從目標(biāo)樣品上方入射的光被薄膜表面（R1）反射。此外，穿過薄膜的光在基板（金屬）和薄膜界面（R2）處被反射。測量此時(shí)由于光程差引起的相移所引起的光學(xué)干涉現(xiàn)象，并根據(jù)得到的反射光譜和折射率計(jì)算膜厚的方法稱為光學(xué)干涉法。
顯微分光膜厚儀的作用特點(diǎn)：
1、自動(dòng)對(duì)焦作用。配備激光自動(dòng)對(duì)焦作用，能夠準(zhǔn)確對(duì)焦，提高量測效率。
2、具有焦點(diǎn)距離切換作用，適用于有凹凸的機(jī)器部件與電路板的底部進(jìn)行量測
3、膜厚儀采用檢量線法和FP法，兩個(gè)準(zhǔn)直器可自動(dòng)切換，采用激光自動(dòng)對(duì)焦，并配備有Z軸防沖撞傳感器，可防止在對(duì)焦時(shí)造成的損壞。
4、選用Mo靶材X射線管，量測貴金屬更靈敏。
5、膜厚儀支持多種語言的軟件系統(tǒng)。簡體中文、繁體中文、英語、日語、韓語
6、搭載樣本尺寸的兼容性可適用于各種樣本，能夠通過一臺(tái)儀器量測，從電子部件、電路板到機(jī)器部件等高度較高的樣本，從較厚的樣本(機(jī)器零部件)之大型線路板(PCB)及電子元器件等
7、鹵素?zé)粽彰?/span>
8、即時(shí)生成量測報(bào)告的便捷性。運(yùn)用搭載的MicrosoftWord，Excel可以簡單輕松得到制作報(bào)告
9、多種修正作用?；男拚⒁阎獦颖拘拚?、人工輸入修正
10、膜厚儀搭載了電動(dòng)Ｘ－Ｙ移動(dòng)平臺(tái)
顯微分光膜厚儀廣泛應(yīng)用于各種薄膜、涂層光學(xué)常數(shù)(nandk)和厚度的精確測量，設(shè)備分為在線和離線兩種工作模式，操作便捷，幾秒鐘內(nèi)即可完成測量和數(shù)據(jù)分析，USB連接計(jì)算機(jī)控制；薄膜表面或界面的反射光會(huì)與從基底的反射光相干涉，干涉的發(fā)生與膜厚及折光系數(shù)等有關(guān)，因此可通過計(jì)算得到薄膜的厚度。光干涉法是一種無損、精確且快速的光學(xué)薄膜厚度測量技術(shù)，我們的薄膜測量系統(tǒng)采用光干涉原理測量薄膜厚度。
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